Вакуумная магнетронная напылительная система SmartLab
Вакуумная напылительная система представляет собой высокотехнологичное оборудование для нанесения покрытий из различных проводящих материалов методом магнетронного распыления на постоянном токе и ВЧ.
Установка состоит из вакуумной камеры, в которой расположены узлы для напыления. В нижней части находится подложкодержатель, на котором закрепляются детали для напыления. В боковой части камеры расположен ИК-нагреватель, который с помощью программируемого логического контроллера (ПЛК) поддерживает выставленную на экране контроллера температуру.
На магнетроны подается сигнал от источников питания постоянного тока. Мишени из распыляемого материала распыляются на подложку, закрепленную в подложкодержателе. Установка позволяет напылять материал с одной или двух мишеней. Возможно нанесение различных материалов послойно. В качестве мишеней могут использоваться диски сделанные из металлов, прецизионных металлов, композитных проводящих материалов. Конструкция магнетрона предусматривает использование мишеней диаметром 50 мм.
К вакуумной камере подсоединена система откачки. Напыление происходит при давлении 1х10-5 мбар. В процессе напыления используется аргон газообразный высокой чистоты ТУ 2114-005-00204760-99. Все рабочие параметры представлены в таблице 1.
Таблица 1 – Рабочие параметры вакуумной напылительной системы
Рабочее давление в камере |
1х10-5 мбар |
Максимальная температура в камере |
150 0С |
Рабочая среда в камере |
Газ аргон |
Диаметр мишени |
50 мм |
Возможности перемещения подложкодержателя |
Автоматизированное движение по оси Z и одновременное вращение на 3600 |
Возможный материал напыления |
Cr, Ni, Cu * |
Возможные материалы подложки |
Оптические волокна**, оптические детали, металлические изделия, керамика |
Максимальные габариты подложки |
80х80х100 мм |
Максимальная толщина наносимой пленки |
1 мкм |
Контроль нанесенной пленки |
Визуальный контроль нанесенного покрытия осуществляется при помощи микроскопа Levenhuk 510 |
* Возможно нанесение других проводящих материалов по договоренности.
** Для оптических волокон возможна единовременная загрузка до 10 шт с участком перепокрытия до 10 мм.
*** Возможно проведение рентгеноспектрального анализа нанесенного покрытия (определение макро- и микросостава, построение пространственных карт распределения элементов покрытия).